경기도, 화성 동탄에 ‘ASM 혁신제조센터’ 준공...반도체 기업 기술 경쟁력 확보

[중앙신문=순정우 기자] 세계적 첨단 반도체 증착장비 제조기업 ASM이 8일 화성 동탄에서 혁신제조센터 준공식을 개최했다.

이날 경기도에 따르면, 2023년 5월 동탄첨단산업단지에서 공사를 시작한 ASM 혁신제조센터는 기존 시설 바로 옆 7400㎡ 규모 부지에 1362억원을 투입해 원자층 증착(ALD) 및 플라즈마원자층증착(PEALD) 장비의 혁신 제조시설을 확장했다. 2019년 870억원을 투자한 이후 투자액을 추가한 증액 투자다.

도는 2022년부터 글로벌 지사 간 투자유치 경쟁에서 싱가포르, 미국을 제치고 증액 투자유치에 성공했다. 센터를 통해 장비 연구는 2배, 제조 기능은 기존 시설의 3배로 확대해 국내·외 반도체 기업에 증착장비를 공급할 계획이다.

ASM의 경기도 투자는 전 세계에 진출한 ASM시설 가운데 유럽 지역을 제외하고 유일하게 연구개발 기능과 제조시설이 결합된 시설이다. ASM은 2004년 한국의 PEALD 전문 기업인 지니텍코리아를 인수한 이후, 한국에서 PEALD 분야에 특화해 왔다.

ASM 코리아는 지속적으로 국내 생산에 필요한 소재와 부품 중 대부분을 경기도 중소기업과 협업해 공급받을 계획으로, 이는 도내 기업과의 상생 및 국산화율 향상에 크게 기여할 전망이다. 실제, 에이에스엠의 국산화율은 업계 평균을 크게 웃도는 수준으로 외국인투자기업 투자의 모범사례로 꼽힌다.

이날 준공식에는 히쳄 엠사드 ASM 대표, 폴린 반 데 메르 모어 ASM 경영감독이사회 의장, 이영석 ASM 코리아 대표, 고영인 경기도 경제부지사, 조승문 화성시 제2부시장, 페이터 반 더 플리트 주한 네덜란드 대사, 배정수 화성시의회 의장 등 100여명이 참석했다.

고영인 경제부지사는 “ASM은 국내 업체들과의 협업을 통해 세계시장에서 플라즈마 증착장비 상용화를 이끌며 국내 반도체 장비 기술을 선도해 온 모범적 투자기업”이라며 “ASM을 비롯해 기존 반도체 생산 단지, 인근 소부장 기업과 팹리스 기업들이 연계되면 경기도는 명실상부한 세계적 반도체 메카로 완성될 것이다. 경기도가 모든 힘을 기울여서 돕겠다”고 말했다.

히쳄 엠사드 ASM 대표는 “새로운 혁신제조센터는 ASM의 더 높은 도약을 위한 초석이다. 경기도와 화성시의 아낌없는 지원 덕분에 이번 증설프로젝트가 계획대로 순조롭게 진행되어 감사하다”며 “센터 완공을 기반으로 ASM은 첨단 제조 및 공정기술 역량을 더욱 강화하고 한국 반도체 생태계와의 협력을 더욱 확대해 나갈 것”이라고 말했다.